超纯水设备
产品介绍
超纯水设备
一、超纯水设备的定义与标准
超纯水(Ultrapure Water, UPW)是指电阻率≥18.2 MΩ·cm(25℃)、总有机碳(TOC)≤5 ppb、颗粒物≤1个/mL的高纯度水,几乎不含任何离子、微生物和有机物。
二、核心工艺与设备组成
预处理系统:
多介质过滤器:去除悬浮物、胶体。
活性炭过滤器:吸附余氯、有机物。
软化器:去除钙镁离子(防结垢)。
反渗透(RO)系统:
脱除97%-99%的离子和有机物,产水电导率≤10 μS/cm。
电去离子(EDI)系统:
通过离子交换膜和电场作用,进一步纯化至电阻率≥15 MΩ·cm。
后处理系统:
紫外杀菌(UV):灭活微生物。
超滤(UF):去除热原、纳米级颗粒。
抛光混床:终级纯化,达到18.2 MΩ·cm。
三、关键性能参数
参数 典型值/说明
产水电阻率 ≥18.2 MΩ·cm(25℃)
TOC含量 ≤5 ppb
颗粒物(≥0.1μm) ≤1个/mL
产水量 0.5 m³/h - 100 m³/h(根据需求定制)
回收率 60%-85%(视原水水质)
运行压力 RO系统:1.0-1.5 MPa;EDI系统:0.2-0.7 MPa
四、应用领域
光学行业
各种镜片的清洗。
半导体制造:
晶圆清洗、光刻胶稀释,要求电阻率≥18.2 MΩ·cm,TOC≤1 ppb。
生物医药:
注射用水(WFI)、生物制剂生产,符合GMP标准。
实验室:
分析仪器(HPLC、ICP-MS)用水,避免背景干扰。
光伏与锂电:
太阳能硅片清洗、电解液配制。
五、产品优势
1、设备工艺先进,做工精巧
2、正常使用寿命长,合格率高,达到进口设备的技术水准,性价比更高。
3、我司有一支将近20年经验的技术及售后服务团队,从设计生产到售后服务为客户提供专业化方案。
六、选型与维护建议
选型要点:
水质需求:半导体行业需18.2 MΩ·cm,医药行业可放宽至15 MΩ·cm。
产水量:根据生产线峰值用水量+20%冗余。
能耗:优先选择高效RO膜和低能耗EDI模块。
维护保养:
每日:检查压力、流量、电导率参数,记录运行日志。
每月:清洗RO膜(化学清洗或反向冲洗),更换预处理滤芯。
每年:更换EDI模块离子交换树脂,校准传感器。
七、技术发展趋势
智能化:物联网(IoT)实时监控水质,AI预测膜寿命。
绿色节能:开发低废液排放工艺,提升水回收率至90%以上。
集成化:超纯水设备与生产线直接耦合,减少储水污染风险。
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