抛光液搅拌桶
产品介绍
一、抛光液搅拌桶的定义与功能
抛光液搅拌桶是一种用于混合、储存和均匀分散抛光液(CMP Slurry、金属抛光液等)的专用设备,广泛应用于半导体、光学、金属加工等行业。其核心功能包括:
均匀混合:防止抛光液中的磨料颗粒(如SiO₂、Al₂O₃)沉降或团聚。
温度控制:维持抛光液恒温,避免因温度波动影响抛光效果。
防污染:确保抛光液在洁净环境中储存,防止异物引入。
二、设备结构与工作原理
1. 核心组件
桶体:
材质:316L不锈钢(耐腐蚀)、PP/PTFE(防静电、耐酸碱)。
搅拌系统:
搅拌器类型:桨叶式、锚式、螺旋式(根据粘度选择)。
驱动电机:变频调速(0-500 rpm),功率0.5-15 kW。
温控系统:
加热/冷却夹套:通入导热油或冷却水,控温范围5℃-80℃。
温度传感器:PT100探头,精度±0.5℃。
辅助系统:
液位监测:超声波或浮球式液位计。
循环过滤:联机过滤器(0.1-1μm精度),防止颗粒团聚。
2. 工作原理
通过电机驱动搅拌器旋转,形成层流或湍流,使抛光液中的磨料、添加剂均匀分散。温控系统通过夹套介质调节液温,确保化学稳定性。
三、技术参数
参数 典型值/说明
容量 50L - 5000L(可定制)
搅拌转速 0-500 rpm(无级调速)
功率 0.5 kW(小型)- 15 kW(大型)
温控范围 5℃ - 80℃(精度±1℃)
接触材质 316L不锈钢、PP、PTFE、氟橡胶密封圈
四、应用场景
半导体制造:
CMP抛光液(化学机械抛光)的混合与存储,要求无金属离子污染。
光学镜片加工:
玻璃抛光液的恒温搅拌,防止颗粒沉降。
金属表面处理:
电镀液、酸洗液的循环混合,提升工艺一致性。
锂电材料:
正极/负极浆料的分散,确保涂布均匀性。
产品优势
1、设备工艺先进,做工精巧
2、正常使用寿命长,合格率高,达到进口设备的技术水准,性价比更高。
3、我司有一支将近20年经验的技术及售后服务团队,从设计生产到售后服务为客户提供专业化方案。
五、选型与维护建议
1. 选型要点
抛光液特性:
高粘度(如锂电浆料):选择锚式或螺旋搅拌器。
低粘度(如CMP抛光液):桨叶式或磁力搅拌。
洁净度要求:
半导体级:316L不锈钢+氮气密封+循环过滤。
工业级:PP材质+机械密封。
产能匹配:
根据产线需求选择容量(如500L/批)。
2. 维护保养
日常维护:
每周清洁桶内壁,检查密封圈磨损。
每月校准温度传感器,清理过滤器。
长期维护:
每年更换搅拌器轴承润滑油,检测电机绝缘性。
每2年全面检查夹套管路,防止渗漏。
六、常见问题与解决方案
问题 原因分析 解决方案
颗粒沉降 搅拌速度不足或时间过短 提高转速,延长搅拌时间
温度波动大 夹套介质流量不均 检查泵阀,调节流量
密封泄漏 密封圈老化或安装不当 更换密封圈,重新校准轴心
电机过热 负载过大或散热不良 降低转速,清理散热风扇
七、技术发展趋势
智能化:
集成物联网(IoT)实时监控粘度、颗粒分布。
AI算法优化搅拌参数,自适应不同配方。
绿色化:
低能耗电机设计,减少碳足迹。
可降解材料替代传统密封件。
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